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2009年

[ 展示会 ]

2009.12.07

セミコンジャパン2009に出展しました

セミコンジャパン2009が下記の通り開催され弊社も出展しました。

会期:2009年12月2日(水)~4日(金)

開場時間:10:00~17:00
会場:幕張メッセ

当社小間番号:4B-203

<出展製品>

1.新製品!液体用フローコントローラ MODEL FCL シリーズ

純水薬液用に開発されたオールテフロン製液体流量コントローラMODEL FCLシリーズを展示。半導体プロセスの液体自動定量供給に最適です。

2.新製品!チップセンサー搭載超小型マスフローコントローラ MODEL7200A新開発のチップ型サーマルセンサーを使用。極限とも言える小型化を実現しました。従来品と比べ、応答性や再現性も飛躍的に向上。

3.超高速・高清浄度マスフローメータ MODEL7800

MEMS技術により新開発した超微少センサーを搭載し、高速応答性及びガス通路部を単純化すると共にクラス100のクリーンルームで生産し、クリーン化にも対応しております。高性能化を図りながらも低価格を実現化した画期的な新商品です。

4.表示器付ローコストマスフローメータ MODEL3810DSシリーズ実績のあるローコストマスフローメータMODEL3810をベースに新たに開発された表示器一体型マスフローメータです。駆動電源は、従来の±15VDC電源からDC24V単一電源に変更し利便性を向上させるとともに、表示器には警報接点を設け機能性も向上させています。

たくさんのご来場誠にありがとうございました。

ブース写真

ブース写真2

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