トピックス

トップページ > トピックス > 製品知識 > 2009年 > マスフロー製品知識その1

2009年

[ 製品知識 ]

2009.11.19

マスフロー製品知識その1

○用語○

マスフローコントローラ/メータの流量単位

マスフロー製品はその名のとおり質量流量を計測しています。
しかし、流量単位は[g/min]や[kg/h]ではなく、[SCCM]や[SLM]といった表記が使われています。これは質量流量を、ある基準状態(0℃,1atmや20℃,1atm)における体積流量[mL/min]や[L/min]に換算した値を表しているのです。
つまり、ガスの温度や圧力が異なっても、これを基準状態に換算した値で表されています。したがって、実際にガスを使用している場所での体積流量を知りたい場合にはその場所でのガスの温度と圧力からボイル・シャルルの法則を用いて計算する必要があります。
例えば、基準状態(20℃,1atm)のマスフローで計測された流量から30℃,200kPa(ゲージ圧)の地点での実際の体積流量を計算するには、
計測流量×(273.15+30)/(273.15+20)×(101.325)/(101.325+200)となります。

○使用時の注意○

小流量レンジのマスフローメータに大きな圧力変化を加えると…

流量計測とは関係なく、マスフローメータを通してガスを充填しようとして大きな圧力を加えても、小流量レンジのマスフローメータではフルスケール流量を超えた流量を示したまま、一向に安定しません。
これはマスフローメータのセンサに使用している細管には微少流量しか流れないため、前後の配管の圧力差がセンサの計測可能な微少流量での圧力差に安定するまで時間がかかってしまうためです。大きな流量レンジのマスフローメータはバイパスを設けて分流計測しているため、同じ圧力差でも早く安定します。多量のガスの移動を行いたい場合には、小流量レンジのマスフローメータをバイパスする配管を設けてください。

▲このページの先頭に戻る