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2008年
[ 展示会 ]
2008.12.16
セミコン2008に出展しました
SEMICON Japan2008が下記の通り開催され、当社も出展しました。
会期:2008年12月3日(水)~5日(金)
開場時間:10:00~17:00
会場:幕張メッセ
当社小間番号:5A-201,5ホール
<出展製品>
NEW①液体フローコントローラ MODEL FCL800シリーズ
純水・薬液の自動定量供給用に開発されたオールテフロン製液体流量コントローラ。半導体プロセスの液体流量制御に最適です。
NEW②チップセンサー搭載マスフローメータ MODEL7800関西フロントライナー大賞2008受賞製品
MEMS技術を活用した小型、高速応答、低消費電力チップ型センサー搭載。キャピラリーをなくし低発塵構造採用。
1000L/minまでの大流量計測対応
NEW③チップセンサー搭載超小型マスフローコントローラ MODEL7200
新開発のチップ型サーマルセンサーを使用。極限とも言える小型化を実現しました。従来品と比べ、応答性や再現性も飛躍的に向上。
NEW④省エネ型窒素ガス発生装置 エコミットシリーズ
当社既存装置と比較、省エネ化 最大約60%カット!
※パネル展示、資料配布予定
⑤表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL8500
従来のモデル8300シリーズ特長をそのままに、さらに改良を加え耐ノイズ性を飛躍的に向上させたモデル。
⑥ローコストメタルシール マスフローコントローラ/メータ
MODEL5400シリーズ
半導体プロセスガス制御に要求される溶接レス構造、メタルシール、精度≦1秒等の基本性能をクリアし、なおかつ画期的なコストダウンを実現したマスフローコントローラです。
⑦液体用小型カルマン渦流量計 FM31シリーズ
カルマン渦の発生周波数は、所定範囲では流速に比例します。本渦流量計は渦発生周波数を渦検出器で検出して、信号処理回路により、体積流量に比例した信号を出力します。
多数ご来場ありがとうございました。
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