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面積式(フロート式)流量計
精密ニードルバルブ付流量計MODEL RK1250 SERIES
精密ニードルバルブ付流量計MODEL RK1200 SERIES
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面積式(フロート式)流量計

精密ニードルバルブ付流量計
MODEL RK1200 SERIES
本器は高精度フロート式流量計と、精密制御のできるニードルバルブを組み合せた高級グレードのバルブ付フロート式流量計です。微少流量の計測制御に最適の製品です。
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精密ニードルバルブ付流量計MODEL RK1200 SERIES

特長

超微少の流量制御が可能です。
精密ニードルバルブ使用。
下部・上部2タイプのバルブ。
豊富なバリエーション。

用途

機器組込用に。
半導体関連ガス機器に。
バイオ産業向けに。
真空ライン制御に。

標準仕様

 ガス液体
流体名Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2
(実ガス校正)
他ガスは換算校正
実ガス校正別途相談
 ※オプション:2種流体目盛
標準流体(水)
他液体は換算校正
実液校正別途相談
流量レンジ0.5~5ML/MINから10~100L/MIN
 ※オプション:0.5~3ML/MIN
0.5~5ML/MINから0.2~2L/MIN
 ※オプション:0.5~3ML/MIN
精度FS±2%(計測ポイント)
※オプション:FS±1%(計測ポイント)
FS±2%(計測ポイント)
耐圧100ML/MIN以下:1.0MPa
5L/MIN以下:0.7MPa
10L/MIN以上:0.5MPa
5ML/MIN以下:1.0MPa
150ML/MIN以下:0.7MPa
200ML/MIN以上:0.5MPa
有効目盛10:1 ※オプション 20:1
 
材質SS製BS製
本体ブロックSUS316真鍮
テーパー管パイレックス®
パッキンバイトン®NBR
フロートパイレックス®、SUS316、SUS304
保護カバーアクリル
耐温度120℃70℃
接続口Rc1/4(標準)、Rc1/8(オプション)

キャパシティリスト

Air(大気圧条件流量) ML/MIN、L/MIN 
mm5ML 10ML 20ML 30ML 50ML100ML150ML200ML300ML
126
156-
206----
256-----
mm500ML1L2L3L5L10L15L20L30L
126
156
206
256
mm50L100L 
126-
156
206-
256-
 
H2O ML/MIN、L/MIN
mm5ML10ml20ML30ML50ML100ML150ML200ML300ML
126
156
206
256
mm500ML1L2L 
126-
156
206
256-

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