マスフローコントローラ/メータ/周辺機器

マスフローコントローラ/メータ/周辺機器
コフロックのマスフローコントローラー/マスフローメータ(MFC/MFM)は精度、再現性、応答性、さらにはコストを要求される、半導体、光ファイバー、分析、燃料電池、液晶、有機EL、バイオ、食品、環境計測、燃焼ガス制御、工場設備、実験設備等のあらゆるプロセス、装置に適合できるよう各種の製品を製造しています。

【原理】
コフロックのマスフローコントローラ/マスフローメータ(MFC/MFM)に使用されている流量センサーは、熱式流量センサーを採用しています。 熱式流量センサーはセンサー部となる毛細管にヒーターを兼ねた抵抗体を上流側、下流側の2ヶ所にそれぞれ巻きつけてあります。この抵抗体に電流を流すと発熱し、ガスが流れていない場合は2つの抵抗体は同じ温度でバランスします。この状態でガスを流すと上流側と下流側の温度バランスが変化し温度差が生じます。
この温度差がガスの質量流量に対して関数関係にあり、上流側と下流側の抵抗値の変化を電気信号として取り出し増幅、補正して質量流量計(マスフローメータ)として利用しています。
さらにマスフローコントローラは、センサー部から出力された流量信号を外部からの流量設定信号との比較制御で高速、高分解能の電磁弁(ソレノイドバルブ)により電磁弁の開度をコントロールしています。 熱式センサーは質量流量を計測していることから温度、圧力の影響をほとんど受けず安定した計測制御を可能にしています。

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