ガス混合装置

ガス混合装置
ガス混合装置は、当社の高精密部品であるマスフローコントローラ・フローメータ・バルブ等を使用し、2種類以上のガスを決まった圧力・流量に設定・制御して、混合ガスを供給する装置です。実験研究用、半導体用、バイオ用等、幅広い用途でご使用されております。 ※お客様のニーズに合わせ、様々な特別仕様に対応致します。

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