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製品情報
フローメータ内蔵型ガス混合装置
GM SERIES
■対象流体:気体 N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等
■最大流量:気体 1ライン10mL/min~20L/min / トータル40L/min
■精度:±2%F.S.
- 優れた安定性、再現性、気密性、温度特性
- 微少流量のガス制御が可能