ガス混合装置
- ガス混合装置は、当社の高精密部品であるマスフロー・流量計・バルブ等を使用し、２種類以上のガスを決まった圧力・流量に設定・制御して、混合ガスを供給する装置です。実験研究用、半導体用、バイオ用等、幅広い用途でご使用されております。
※お客様のニーズに合わせ、様々な特別仕様に対応致します。
製品情報
PRODUCTS
- マスフローコントローラー/メーター
- 窒素ガス発生装置
- 面積式（フロート式）流量計
- 酸素ガス発生装置
- ニードルバルブ
- オゾンガス発生装置
- 圧力調整弁（レギュレーター）
- マスフローコントローラー／メーター周辺機器
- ガス混合装置
- 燃料電池評価装置
