ベローズニードルバルブ付流量計 MODEL RK1500 SERIES

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面積式（フロート式）流量計: 精密ニードルバルブ付流量計MODEL RK1250 SERIES; 精密ニードルバルブ付流量計MODEL RK1200 SERIES; ニードルバルブ付パージ流量計MODEL RK1650 SERIES; ニードルバルブ付パージ流量計MODEL RK1600R SERIES; 高精度流量計MODEL RK1450 SERIES; 高精度流量計MODEL RK1400 SERIES; パージ流量計MODEL RK1050 SERIES; パージ流量計MODEL RK1000 SERIES; ローコストフローメータMODEL RK1700 SERIES; ローコストフローメータMODEL RK1150 SERIES; スタンド付精密流量計測用　実験室用精密流量計MODEL RK1350 SERIES; 警報スイッチ用　コンパクトリードスイッチ流量計MODEL RK1930,RK1935 SERIES; 警報スイッチ用　リードスイッチ流量計MODEL RK1970,RK1975,RK1976 SERIES; 大流量用流量計MODEL RK2000,RK2005,RK2006 SERIES; 警報スイッチ用　フォトセンサ付流量計MODEL RK1812,RK1814 SERIES; 警報スイッチ用　フッ素樹脂流量計MODEL RK1860,RK1865 SERIES; ベローズニードルバルブ付流量計MODEL RK1500 SERIES; 負荷圧変動対応　フローコントローラ付流量計MODEL 2503F SERIES; 供給側圧力変動対応　フローコントローラ付流量計MODEL 2504FR SERIES; フレキシブルフローメータMODEL RK1100 SERIES; バーナーガス用流量計MODEL RK4450 SERIES; ボンベレギュレータ用　圧力調整器用精密流量計MODEL RK4400 SERIES; 多連ラボ用　ニードルバルブ付マルチフローメータMODEL RK120X SERIES; ガス混合用流量計MODEL RK120XM SERIES; 多連ラボ用　マルチフローメータMODEL RK140X SERIES; 流量計の原理・構造
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面積式（フロート式）流量計

ベローズニードルバルブ付流量計 MODEL RK1500 SERIES: 本器は高真空、高圧、高温、有毒ガス等の使用に耐えるよう設計されたベローズシール型ニードルバルブを装着した流量計です。

特長

●ヘリウムリークディテクターで全品リークテストをしていますから、リークに対し高い信頼性があります。
●ベローズシール型ですからニードルバルブの軸からのリークは全くありません。
●流体接触部の材質はＳＵＳ３１６、フッ素樹脂、バイトン、パイレックスガラス以外は使用していない為、耐食性に優れています。
●精密成形法を採用したトライフラット、リブガイド型のフローメータチューブと超精密球で構成された精度の高い再現性、安定性に優れた流量計に、なめらかな流量特性をもつ精巧なニードルバルブが装着されています。

用途

●真空装置に。
●半導体製造ラインに。

標準仕様

	ガス	液体
流体名	Air,N₂,O₂,H₂,He,Ar,CO₂ （実ガス校正）他ガスは換算校正実ガス校正別途相談　※オプション：2種流体目盛	標準流体（水）他液体は換算校正実液校正別途相談
流量レンジ	0.5～5ML/MINから3～30L/MIN 　※オプション：0.5～3ML/MIN	0.5～5ML/MINから0.1～1L/MIN 　※オプション：0.5～3ML/MIN
精度	FS±2%（計測ポイント） ※オプション：FS±1%（計測ポイント）	FS±2%（計測ポイント）
耐圧	100ML/MIN以下：1.0MPa 5L/MIN以下：0.7MPa 10L/MIN以上：0.5MPa	5ML/MIN以下：1.0MPa 150ML/MIN以下：0.7MPa 200ML/MIN以上：0.5MPa
有効目盛	10：1　※オプション　20：1

材質	ＳＳ製
本体ブロック	SUS316
テーパー管	パイレックス^®
パッキン	バイトン^®、フッ素樹脂
フロート	パイレックス^®、SUS316
保護カバー	アクリル
耐温度	120℃

キャパシティリスト

mm	5ML	10ML	20ML	30ML	50ML	100ML	150ML	200ML	300ML
Ａｉｒ（大気圧条件流量） ML/MIN、L/MIN
120	○	○	○	○	○	○	○	○	○
150	-	○	○	○	○	○	○	○	○
200	-	-	-	-	○	○	○	○	○
250	-	-	-	-	-	○	○	○	○
mm	500ML	1L	2L	3L	5L	10L	15L	20L	30L
120	○	○	○	○	○	○	○	○	○
150	○	○	○	○	○	○	○	○	○
200	○	○	○	○	○	○	○	○	○
250	○	○	○	○	○	○	○	○	○

Ｈ２Ｏ ML/MIN、L/MIN
mm	5ML	10ML	20ML	30ML	50ML	100ML	150ML	200ML	300ML
120	○	○	○	○	○	○	○	○	○
150	○	○	○	○	○	○	○	○	○
200	○	○	○	○	○	○	○	○	○
250	○	○	○	○	○	○	○	○	○
mm	500ML	1L
120	○	○
150	○	○
200	○	○
250	○	○

この商品について…

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