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ガス混合装置
- 流量計内蔵型 ガス混合装置
GM SERIES - ＧＭシリーズは、ＫＯＦＬＯＣのメカニカルな精密流量制御バルブとフロート式流量計によるガス混合装置です。
本装置には、気体の微少流量範囲の精密な流量制御を可能にした定流量ユニットが内蔵されております。
流量設定は、相互干渉無く確実容易で、本装置に接続する負荷の圧力に変動が生じても安定した混合ガスが一定供給されるようになっております。
優れた安定性と再現性をもった本装置は、幅広い分野で数多くの実績があり、高く評価されております。
特長
●安定性、再現性に優れたガス混合装置
●優れた機密性
●優れた温度特性
●清浄性
●定流量装置として使用可能
●超微少流量のガス流量制御が可能
●４種以上の混合も特別仕様で対応可能
※その他様々な仕様に対応可能です。
●優れた機密性
●優れた温度特性
●清浄性
●定流量装置として使用可能
●超微少流量のガス流量制御が可能
●４種以上の混合も特別仕様で対応可能
※その他様々な仕様に対応可能です。
標準仕様
| 混合法 | 流量比混合方式 |
|---|---|
| 流量範囲 | 10(ML/MIN)～20(L/MIN) ※各ﾗｲﾝ |
| 適応ガス | AIR,N2,O2,He,Ar,CO2 ※その他のガスも製作可能です。 |
| 制度 | ±2％F.S. ※各ﾗｲﾝ |
| 主要接ガス部 | BS仕様：BS,NBR,POM SUS仕様：SUS316,ﾌｯ素ｺﾞﾑ,ﾌｯ素樹脂 |
| 使用温度範囲 | 5～40(℃) |
| 使用圧力範囲 | 49～588(kPa) |
| 耐圧 | 784(kPa) |
| 配管接続 | Rc1/4 ※IN,OUT |
| 寸法 | GM-2B 290W×350D×440H(mm) GM-3B 360W×350D×440H(mm) GM-4B 430W×350D×440H(mm) |
この商品について…
