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ガス混合装置
- マスフロー内蔵型 ガス混合装置
GB SERIES - ＧＢシリーズは、マスフローコントローラを使用したガス混合装置であり、質量流量を制御しますので、温度・圧力等外乱の影響を受けにくく、安定した高精度のガス混合が行なえます。
半導体、バイオ等をはじめとして、幅広い分野でご使用頂いております。 
特長
●マスフローコントローラを使用しており、温度、圧力に対して
安定な性能を発揮します。
●各成分のガス流量設定量が容易に行なえます。
●ガス圧調節機能を持っており、任意の圧力で混合ガスを供給
出来ます。
●コンピューター、レコーダー等用に流量入出力端子が設け
られており、外部より電気信号（０～５Ｖ ＤＣ）にて
コントロールすることが可能です。
安定な性能を発揮します。
●各成分のガス流量設定量が容易に行なえます。
●ガス圧調節機能を持っており、任意の圧力で混合ガスを供給
出来ます。
●コンピューター、レコーダー等用に流量入出力端子が設け
られており、外部より電気信号（０～５Ｖ ＤＣ）にて
コントロールすることが可能です。
標準仕様
| 制御方式 | ｻｰﾏﾙﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ制御 |
|---|---|
| 適応ガス | AIR,N2,O2,He,Ar,CO2 ※その他のガスも製作可能です。 |
| 流量範囲 | 10(SCCM)～20(SLM) ※各ﾗｲﾝ |
| 使用圧力 | 49～588(kPa) |
| 耐圧 | 784(kPa) |
| 流量入出力信号 | 0～5V DC |
| 接ガス部材質 | SUS316,ﾌｯ素ｺﾞﾑ,ﾌｯ素樹脂 |
| 配管接続 | Rc1/4 ※IN,OUT |
| 使用温度 | 15～35(℃) |
| 流量表示器 | 3 1/2桁7ｾｸﾞﾒﾝﾄLEDﾃﾞｼﾞﾀﾙﾒｰﾀｰ |
| 電源 | AC100V 30W |
| 寸法 | GB-2C 300W×390D×340H(mm) GB-3C 400W×390D×340H(mm) GB-4C 500W×390D×340H(mm) |
※混合精度は、マスフローコントローラの精度によって変わります。
この商品について…
