トップページ > 製品情報 > マスフローコントローラー/メーター > 液体用小型カルマン渦流量計FM31 SERIES
マスフローコントローラー/メーター
- 液体用小型カルマン渦流量計
FM31 SERIES - 流れの中に障害物(柱条物体、渦発生体)を置くと、その後方には規則的なカルマン渦が発生します。
このカルマン渦の発生周波数は、所定の範囲では流速に比例します。
本渦流量計はこの原理を応用したもので有り、渦発生周波数を渦検出器(圧電素子)で検出して信号処理回路により体積流量に比例した信号を出力します。 
特長
●稼動部が無く、信頼性、耐久性に優れており、また取付姿勢の誤差が有りません。
●流路には渦発生体と渦検出器があるだけというシンプルな構造で圧力損失が小さく液漏れが少ない。検出器が接液していないので各種液体プロセス監視には最適です。
●ボディ材質は、ＰＰＳ、ＰＦＡと２種類有り、パーティクルフリーです。
●グローバル仕様対応(ＣＥマーキング取得)
●ＦＭ３１シリーズは接液部オールテフロン、Ｏリングレスで半導体プロセスの液体流量監視に最適です。
●流路には渦発生体と渦検出器があるだけというシンプルな構造で圧力損失が小さく液漏れが少ない。検出器が接液していないので各種液体プロセス監視には最適です。
●ボディ材質は、ＰＰＳ、ＰＦＡと２種類有り、パーティクルフリーです。
●グローバル仕様対応(ＣＥマーキング取得)
●ＦＭ３１シリーズは接液部オールテフロン、Ｏリングレスで半導体プロセスの液体流量監視に最適です。
標準仕様
| 型式 | FM3101 | FM3102 | FM3103 | FM3104 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 流量レンジ | 0.4～4L/MIN | 2～20L/MIN | 5～50L/MIN | 10～100L/MIN | |
| 接続部 | 3/8” チューブエンド | 1/2” チューブエンド | 3/4” チューブエンド | 1” チューブエンド | |
| 測定流体 | 超純水・薬液等 液体 | ||||
| 測定精度 | ±3%＋1digit | ||||
| 再現性 | ±0.5F.S.以内 | ||||
| 流体温度 | 0～90℃（凍結、沸騰しないこと） | ||||
| 周囲温度 | 0～50℃ | ||||
| 出力 | 表示器付 | 表示：3桁LED | |||
| 電流出力：4～20mA（リニア） | |||||
| 警報出力：オープンコレクタ（LED2個max80mA 30VDC） | |||||
| 表示器無 | 電流出力：4～20mA（リニア） | ||||
| パルス出力：オープンコレクタ（max 10mA 30VDC） | |||||
| 電源電圧 | 12～24VDC | ||||
| 材質 | ボディー | オールテフロン（PFA）、Oリングレス | |||
| カバー | ポリブチレンテレフタレート樹脂（PBT） | ||||
| ケーブル | 導体：錫メッキ裸軟銅線、シース：耐熱耐寒性POC（塩化ビニール）、 長さ2m付 | ||||
この商品について…
