トップページ > 製品情報 > マスフローコントローラー/メーター > オートプレッシャーコントローラ 圧力制御 電子式MODEL 9100 SERIES
マスフローコントローラー/メーター
- オートプレッシャーコントローラ 圧力制御 電子式
MODEL 9100 SERIES - MODEL9100シリーズは、圧力センサにより圧力制御を行うマスフローコントローラをベースとしたAPC(Auto Pressure Controller)で、制御バルブには当社で実績のあるソレノイドバルブを採用してます。センサーの設定位置を変更することにより、入口側/出口側の圧力制御が可能でありマスフローコントローラとの併用は勿論、単体使用でもプロセスパフォーマンスが発揮出来る様に開発した製品です。
特長
●各設定レンジにおける制御・応答性が向上。
●応答速度２段階切換可能。
●ソレノイド・ノーマリークローズバルブ採用。
●ダイヤフラムシートバルブの採用によりデッドボリウムを低減。
●面間：ボディ寸法（面間）は他社置き換えに対応した構成。
●応答速度２段階切換可能。
●ソレノイド・ノーマリークローズバルブ採用。
●ダイヤフラムシートバルブの採用によりデッドボリウムを低減。
●面間：ボディ寸法（面間）は他社置き換えに対応した構成。
標準仕様
| 測定方式 | 蒸着型半導体歪ゲージ方式 |
|---|---|
| バルブ方式 | ダイヤフラムバルブ方式（ソレノイド、ノーマリークローズ） |
| 制御範囲 | ゲージ圧タイプ10～500kPa、絶対圧タイプ10～300kPa（A） |
| 応答時間１ | 0－100%応答1sec.以下 |
| 応答時間２ | 0－100%応答6sec.以下 |
| 調圧バルブ流量 | 0.5SLM/1SLM/2SLM（圧力条件：1次圧50kPa、 2次圧大気開放、N2相当） |
| 調圧精度 | ±1.0%F.S.以内 |
| 精度保証温度 | 15℃～35℃ |
| 直線性 | ±0.5%F.S.以内 |
| 繰り返し性 | ±0.2%F.S.以内 |
| 使用温度 | 0～50℃ |
| 耐圧 | ゲージ圧タイプ1MPa、絶対圧タイプ450kPa |
| 接ガス部材質 | SUS316L、CO-Ni、PTFE、Au（メタル）、バイトン® |
| 継手 | 標準1/4VCR相当、1/4SWL® |
| 外部リークレート | 6×10-11Pa・m3/s（メタル） 1×10-8Pa・m3/s（ラバー） （Heの透過は含まない） |
| 圧力設定信号 | 0.1～5VDC |
| 圧力出力信号 | 0～5VDC |
| 電源 | ±15VDC±2%、＋側約100mA、－側約200mA |
| 取付姿勢 | 自由 |
配線取合
Ｄｓｕｂ９ピン ＫＦＣ ｓｔａｎｄａｒｄピン配列
| ピン№ | 信号名称 | ピン№ | 信号名称 |
|---|---|---|---|
| 1 | バルブ開閉入力 | 6 | 圧力設定入力：Hi |
| 2 | 圧力出力0～5V | 7 | 圧力出力COM |
| 3 | 電源＋15VDC | 8 | 圧力設定入力：Lo |
| 4 | 電源COM | 9 | バルブ電圧出力 |
| 5 | 電源－15VDC |
※製品の入力方式は差動入力です。したがって№4電源COMと№7流量出力COMは、マスフロー内部で接続されていますが、№8圧力設定入力：Loはアイソレートされています。もしシングルエンドで本製品をご使用になる際は、結線例で№8は№4と繋いでご使用になって下さい。
※9100M：ベーキング対応80℃
※9100M：ベーキング対応80℃
この商品について…
