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マスフローコントローラー/メーター
- マイクロガスフローメータ
MODEL 7100NL - チップセンサー搭載の７１００ＮＬは、小型化・高速応答・低消費電力・低電圧駆動を実現した流量センサーです。小型化・バッテリー駆動が要求される可搬型ガス分析機器等、様々なガス計測・制御機器の流量監視用の組込み型流量センサーとして御使用いただけます。
特長
●成膜技術とＭＥＭＳ技術によるセンサー小型化
●流量変化の高速検出
●低消費電力 約２０ｍＷ
●単電源低電圧駆動 ＤＣ５Ｖ駆動
●可搬型ガス分析機器への搭載
●流量変化の高速検出
●低消費電力 約２０ｍＷ
●単電源低電圧駆動 ＤＣ５Ｖ駆動
●可搬型ガス分析機器への搭載
用途例
●必要な流量が流れているかの流量監視
●比例制御バルブと組み合わせて、供給流量制御
●インバーターポンプと組合わせて、供給流量制御
●気密性の要求される製品のリーク試験に
●比例制御バルブと組み合わせて、供給流量制御
●インバーターポンプと組合わせて、供給流量制御
●気密性の要求される製品のリーク試験に
標準仕様
| 型式 | Ｍｏｄｅｌ ７１００ＮＬ | |
|---|---|---|
| Ｆ．Ｓ．２００ＳＣＣＭ | Ｆ．Ｓ．２０００ＳＣＣＭ | |
| センサー方式 | チップセンサー搭載 | |
| 計測対象ガス | ＡＩＲ、Ｎ２ | |
| 計測流量レンジ | ２～２００ＳＣＣＭ | ２０～２０００ＳＣＣＭ |
| 応答性 | ６０ｍｓｅｃ以下 | |
| 出力電圧 | ０．５～３．０Ｖ | |
| 使用温度 | ０～５０℃ | |
| 精度保証温度 | ５～４５℃ | |
| 保存温度 | －２０～８０℃ | |
| 耐圧 | ０．３ＭＰａ | |
| 電源電圧 | ＤＣ４．５～５．５Ｖ | |
| 消費電流 | ５ｍＡ以下 | |
| 直線性 | 非リニア | |
| 温度特性 | ±３．０％Ｆ．Ｓ． | |
| 再現性 | ±０．８％Ｆ．Ｓ． | |
| 圧力損失 | ０．８ｋＰａ以下 | |
| 外形寸法 | ２１Ｗ×３２Ｄ×３８Ｈ | |
| 継手形状 | Ｒｃ１/８ | |
| ケーブル | コネクタ）モレックス５１０２１（付属） | |
| 取付姿勢 | 指定なし | |
| 重量 | ５７ｇ以下 | |
この商品について…
