トップページ > 製品情報 > 圧力調整弁（レギュレーター） > プレッシャーレギュレーティングバルブMODEL 6610
圧力調整弁（レギュレーター）
- プレッシャーレギュレーティングバルブ
MODEL 6610 - 本器は、ＭＯＤＥＬ６６００より低圧力側に精度を上げ、再現性がよく、確実、迅速に圧力調整できるものとして開発されました。
高感度の分析機器、研究開発用、半導体製造装置用として最適な製品です。 
特長
●低圧力側での高精度制御特性。
０．０１～０．１５ＭＰａの設定条件で一次側圧力変動、二次側負荷抵抗変動に対して、再現性±１％以内の高い制御性能を有しています。
●ノングリス仕様。
接ガス部分はステンレス、バイトン、テフロン仕様で、グリス類を一切使用していませんので、ピュアな状態を要求される半導体分野等に最適です。
●ロックナット付構造。
一回設定した調圧位置をロックナットにて固定し、設定の変化を防止することができます。
●ノンブリードタイプ。
ノンブリードタイプであり、ガスが外部に漏れることがありませんので、安心してご使用いただけます。
０．０１～０．１５ＭＰａの設定条件で一次側圧力変動、二次側負荷抵抗変動に対して、再現性±１％以内の高い制御性能を有しています。
●ノングリス仕様。
接ガス部分はステンレス、バイトン、テフロン仕様で、グリス類を一切使用していませんので、ピュアな状態を要求される半導体分野等に最適です。
●ロックナット付構造。
一回設定した調圧位置をロックナットにて固定し、設定の変化を防止することができます。
●ノンブリードタイプ。
ノンブリードタイプであり、ガスが外部に漏れることがありませんので、安心してご使用いただけます。
用途
●ガスクロマトグラフ
●高純度ガス制御に
●低圧制御用機器に
●半導体分野等
●高純度ガス制御に
●低圧制御用機器に
●半導体分野等
標準仕様
| 流体 | 各種気体 |
|---|---|
| 一次側最大圧力 | 0.4MPa |
| 二次側制御圧力 | 0.01～0.15MPa |
| 最大流量 | 5L/MIN |
| 最低動作差圧 | 0.1MPa以上 |
| 流体接触部材質 | SUS316、バイトン®、テフロン®、SUS304、SUS303 |
| 耐圧力 | 0.8MPa |
| 再現性 | 定格圧力に対して±1%以内 |
| 最大使用温度 | 50℃ |
| 接続口 | Rc1/8 |
この商品について…
