トップページ > 製品情報 > マスフローコントローラー/メーター > ローコストメタルシール マスフローコントローラ/メータMODEL 5400 SERIES
マスフローコントローラー/メーター
- ローコストメタルシール マスフローコントローラ/メータ
MODEL 5400 SERIES - ＭＯＤＥＬ５４００シリーズは、半導体プロセスガス制御に要求される溶接レス構造、メタルシール、精度≦１秒等の基本性能をクリアし、なおかつ画期的なコストダウンを実現したマスフローコントローラです。同じボディ設計のマスフローメータＭＯＤＥＬ５４１０シリーズもラインナップします。
特長
●温度追従型電流差検出方式の流量センサー(特許出願中)を搭載し高精度、高速応答を実現。
●ソレノイド・ノーマリークローズバルブを採用。
●溶接レス構造、メタルシール化により低リーク。
●ダイヤフラムシートバルブの採用によりデットボリュームを低減。
●面間・ボディ寸法、配線取り合いは他社置き換えに対応した構成。
●ソレノイド・ノーマリークローズバルブを採用。
●溶接レス構造、メタルシール化により低リーク。
●ダイヤフラムシートバルブの採用によりデットボリュームを低減。
●面間・ボディ寸法、配線取り合いは他社置き換えに対応した構成。
標準仕様
| 流量レンジ（N2換算） | 10SCCM～20SLM |
|---|---|
| バルブ方式※ | ノーマリークローズ、ソレノイド、ダイヤフラムシートバルブ |
| 制御範囲※ | 2～100%F.S. |
| 応答性※ | 0－100%応答 1sec.以下（Set Point±2%、typical以下） |
| QSオプション適用時は0－100%～0－20%応答まで1sec.以下 | |
| 精度 | ±1.0%F.S.以内 |
| 直線性 | ±0.5%F.S.以内 |
| 繰り返し性 | ±0.2%F.S.以内 |
| 動作差圧※ | F.S.≦5SLM 49～294kPa ※LP（低差圧）仕様はガス、流量により差があります |
| 5＜F.S.≦20SLM 98～294kPa | |
| 耐圧 | 980kPa |
| リークレート | 1×10-11Pa・m3/s以下 |
| 使用温度 | 0～50℃（精度保証：15～35℃） |
| 接ガス部材質 | ボディ：SUS316L |
| ダイヤフラム：Ni-CO | |
| バルブシート：PTFE | |
| シール材：Ni、SUS316L | |
| 継手 | 1/4VCR®相当 |
| 電気接続※ | Dsub9ピンオス KFC standard（SEMI standard準拠） |
| 流量設定入力信号 | 0～5VDC |
| 流量出力信号 | 0～5VDC |
| 所要電源 | 5400：+15VDC（+5%）100mA、-15VDC（+5%）200mA |
| 5410：+15VDC（+5%）100mA，-15VDC（+5%）100mA |
※印の項目はマスフローコントローラＭＯＤＥＬ５４００のみに適用されます。
配線取合
Ｄｓｕｂ９ピン ＫＦＣ ｓｔａｎｄａｒｄピン配列
| ピン№ | 信号名称 | ピン№ | 信号名称 |
|---|---|---|---|
| 1 | バルブ開閉入力 | 6 | 流量設定入力：Hi |
| 2 | 流量出力0～5V | 7 | 流量出力COM |
| 3 | 電源＋15V | 8 | 流量設定入力：Lo |
| 4 | 電源COM | 9 | バルブ電圧出力 |
| 5 | 電源－15VDC |
※製品の入力方式は差動入力です。したがって№４電源ＣＯＭと№７流量出力ＣＯＭは、マスフロー内部で接続されていますが、№８流量設定入力：Ｌｏはアイソレートされています。もしシングルエンドで本製品をご使用になる際は、結線例で№８は№４と繋いでご使用になって下さい。
※マスフローメータは２番、３番、４番、５番、７番のみ。
※マスフローメータは２番、３番、４番、５番、７番のみ。
この商品について…
