トップページ > 製品情報 > 圧力調整弁（レギュレーター） > ベローズプレッシャーバルブMODEL 5330 SERIES
圧力調整弁（レギュレーター）
- ベローズプレッシャーバルブ
MODEL 5330 SERIES - 再現性・耐久性に優れたベローズ方式の膨張弁を分析機器用として開発した当社独自の精密圧力調整弁です。ノンリリーフタイプ、ノングリス構造であり、使用ガスが大気に接触する事もなく、汚れもないことから、標準ガス、半導体分野など高純度の気体の圧力制御に不可欠の調整弁です。
特長
●ノングリス構造
接ガス部分は全てスーパークリーニングをほどこし、グリス類を一切使用しておりませんので、ピュアな状態を要求される標準ガス分析計、半導体分野等に最適です。
●高精度
一次圧力変動による再現性、二次側負荷圧力抵抗変動による再現性は±１％以内の高い精度が得られます。
●高安定
金属ベローズをはじめ、すべて金属製の部品で構成されておりますので、耐久性に優れ、長期の連続使用にも一定圧力が保持できる性能を有しています。
●低差圧動作可能
一次側供給圧力と二次側設定圧力の差圧は２０ＫＰａ差圧で制御できます。
●ノンブリードタイプ
ノンブリードタイプであり、ガスが外部に漏れる事がありませんので、安心してご使用頂けます。
接ガス部分は全てスーパークリーニングをほどこし、グリス類を一切使用しておりませんので、ピュアな状態を要求される標準ガス分析計、半導体分野等に最適です。
●高精度
一次圧力変動による再現性、二次側負荷圧力抵抗変動による再現性は±１％以内の高い精度が得られます。
●高安定
金属ベローズをはじめ、すべて金属製の部品で構成されておりますので、耐久性に優れ、長期の連続使用にも一定圧力が保持できる性能を有しています。
●低差圧動作可能
一次側供給圧力と二次側設定圧力の差圧は２０ＫＰａ差圧で制御できます。
●ノンブリードタイプ
ノンブリードタイプであり、ガスが外部に漏れる事がありませんので、安心してご使用頂けます。
用途
●ガス混合装置に。
●高純度ガス制御に。
●低圧制御に。
●高純度ガス制御に。
●低圧制御に。
標準仕様
| 二次側圧力 設定範囲 | 5330A 9.8～294kPa 5330B 9.8～588kPa |
|---|---|
| 一次側最大圧力 | 784kPa |
| 耐圧力 | 784kPa |
| 再現性 | 定格圧力に対し±1%以内 |
| 耐衝撃性 | 定格圧力に対し±1%以内 |
| 温度特性 | 定格圧力に対し±1%/10℃以内 |
| 耐温度特性 | SUSボディ 120℃ |
| 接続口 | Rc1/8 Rc1/4 |
| 流体接触部材質 | SUS304、バイトン®、フッ素樹脂 |
特別仕様
●標準仕様以外のジョイント
この商品について…
