トップページ > 製品情報 > マスフローコントローラー/メーター > ハイグレードメタルシール マスフローコントローラMODEL 5100 SERIES
マスフローコントローラー/メーター
- ハイグレードメタルシール マスフローコントローラ
MODEL 5100 SERIES - MODEL5100シリーズは、従来ご好評頂いた3440の後継機種にあたり、基本性能を更に向上させマルチレンジに対応した製品です。外観はコンベンショナルなMFCですが、センサードライブ方式を改良し、3440で評価されたゼロドリフトをさらに低減させ、低レンジでの応答性を改良しました。
特長
●各設定レンジにおける制御・応答性が向上。
●設定電圧に対する追従性が向上(ランピング仕様に対応）
●マルチレンジに対応するためのレンジ変換機能を搭載。
●バルブを最適化することで各レンジにおける制御分解機能が向上。
●設定電圧に対する追従性が向上(ランピング仕様に対応）
●マルチレンジに対応するためのレンジ変換機能を搭載。
●バルブを最適化することで各レンジにおける制御分解機能が向上。
標準仕様
| 流量レンジ（N2換算） | 10SCCM～20SLM |
|---|---|
| バルブ方式 | ダイヤフラムバルブ方式 （ソレノイド、ノーマリークローズ） |
| 制御範囲 | 2～100%F.S. |
| 応答性 | 0－100%応答1sec.以下 （within±2%、typical） |
| 精度 | ±1.0%F.S.以内 |
| 直線性 | ±0.5%F.S.以内 |
| 繰り返し性 | ±0.2%F.S.以内 |
| 使用温度 | 0～50℃（精度保証範囲：15℃～35℃） |
| 動作差圧 | F.S.≦5SLM 49kPa～294kPa 5＜F.S.≦20SLM 98～294kPa |
| 耐圧 | 980kPa |
| 接ガス部材質 | SUS316L、Au、PTFE |
| 継手 | 標準1/4VCR相当、オプション1/4SWL |
| 外部リーク規格 | 1×10-11Pa・m3/s（He）以下 |
| 設定信号 | 0～5VDC |
| 出力信号 | 0～5VDC |
| 電源 | ±15VDC±5%、＋側約100mA、－側約200mA |
| 取付方向 | 自由 |
配線取合
Ｄｓｕｂ９ピン ＫＦＣ ｓｔａｎｄａｒｄピン配列
| ピン№ | 信号名称 | ピン№ | 信号名称 |
|---|---|---|---|
| 1 | バルブ開閉入力 | 6 | 流量設定入力：Hi |
| 2 | 流量出力0～5V | 7 | 流量出力COM |
| 3 | 電源＋15V | 8 | 流量設定入力：Lo |
| 4 | 電源COM | 9 | バルブ電圧出力 |
| 5 | 電源－15VDC |
※製品の入力方式は差動入力です。したがって№４電源ＣＯＭと№７流量出力ＣＯＭは、マスフロー内部で接続されていますが、№８流量設定入力：Ｌｏはアイソレートされています。もしシングルエンドで本製品をご使用になる際は、結線例で№８は№４と繋いでご使用になって下さい。
※５１００Ｂ：ベーキング対応８０℃
※５１００Ｂ：ベーキング対応８０℃
この商品について…
