トップページ > 製品情報 > マスフローコントローラー/メーター > 表示器付ローコストマスフローメータMODEL 3810DS SERIES
マスフローコントローラー/メーター
- 表示器付ローコストマスフローメータ
MODEL 3810DS SERIES - MODEL3810DSは実績のあるローコストマスフローメータMODEL3810をベースに新たに開発された表示器一体型マスフローメータです。
駆動電源は、従来の±15VDC電源からDC24V単一電源に変更し利便性を向上させるとともに、表示器には警報接点を設け機能性も向上させています。また、流量センサと精密ニードルバルブを一体化し低価格・省スペースで流量制御を実現したモデルもご用意いたしました。 
特長
●精密ニードルバルブ装着で微少流量制御・監視
●流量監視用アラーム2点出力
●小型軽量!コンパクト、マスフローメータ
●表示器付のため、DC24V電源の結線のみで使用可能
●マスフロー(質量流量)なので面倒な温度・圧力による流量補正計算不要で表示器の
流量を直読できます。
●流量監視用アラーム2点出力
●小型軽量!コンパクト、マスフローメータ
●表示器付のため、DC24V電源の結線のみで使用可能
●マスフロー(質量流量)なので面倒な温度・圧力による流量補正計算不要で表示器の
流量を直読できます。
標準仕様
| センサ方式 | サーマルマスフロー方式 | |
|---|---|---|
| 流量レンジ(N2換算) | F.S.10SCCM~20SLM | F.S. 30SLM~100SLM |
| 精度 | ±2%F.S.以内 | ±3%F.S.以内 |
| 耐圧 | 980kPa | |
| リークレート | 1×10-7Pa・m3/s以下 | |
| 使用温度 | 0~50℃(精度保証:15~35℃) | |
| 接ガス部材質 | ボディ:SUS316L、テフロン®、SUS303、SUS304 シール材:バイトン®、オプション:ネオプレン® | |
| 継手 | 標準:Rc1/4(その他はご相談ください) | |
| 所要電源 | DC24V±5% | |
| アラーム出力数 | NPNオープンコレクタ出力2段 最大定格:DC30V 50mA | |
※ケーブル接続
コネクタ3810DS側 AMP171826-5
ケーブル側 AMP171822-5
コネクタ3810DS側 AMP171826-5
ケーブル側 AMP171822-5




