トップページ > 製品情報 > マスフローコントローラー/メーター > スタンダート マスフローメータMODEL 3760 SERIES
マスフローコントローラー/メーター
- スタンダート マスフローメータ
MODEL 3760 SERIES - ＭＯＤＥＬ３７６０シリーズは、ＭＯＤＥＬ３６６０シリーズをベースに開発されたコンパクト＆ローコストマスフローメータです。大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用機種として開発されました。
特長
●改良型定電流温度差検出方式の流量センサーを搭載し高速応答を実現。
●コンパクトボディで設置場所を選びません。
●ＤＰＭ-１００との組み合わせで警報出力(流量監視)。
●ＣＲ-５００との組み合わせで流量積算(消費量管理)。
●コンパクトボディで設置場所を選びません。
●ＤＰＭ-１００との組み合わせで警報出力(流量監視)。
●ＣＲ-５００との組み合わせで流量積算(消費量管理)。
標準仕様
| 流量レンジ(N2換算） | 10SCCM～20SLM /3760 30SLM～100SLM /3765 |
|---|---|
| 応答性 | 2sec以下 typical |
| 精度 | ±1.5％F.S.以内 /3760 ±2.0％F.S.以内 /3765 |
| 耐圧 | 980kPa |
| リークレート | 1×10-8Pa･m3/s以下(Heの透過は含まない） |
| 使用温度 | 5～45℃ 精度保証：15～35℃ |
| 接ガス部材質 | ボディ：SUS316 シール材：バイトン® オプション：ネオプレン® |
| 継手 | 標準：1/4SWL /3760 標準：3/8SWL /3765 オプション：1/8SWL、1/4VCR®、Rc1/4、その他 |
| 電気接続 | Dsub9ピンオス KFC standard |
| 流量出力信号 | 0～5VDC |
| 所要電源 | +15VDC（±5%）100mA，-15VDC（±5%）100mA |
配線取合
Ｄｓｕｂ９ピン ＫＦＣ ｓｔａｎｄａｒｄピン配列
| ピン№ | 信号名称 | ピン№ | 信号名称 |
|---|---|---|---|
| 1 | NC | 6 | NC |
| 2 | 流量出力0～5V | 7 | 流量出力COM |
| 3 | 電源＋15VDC | 8 | NC |
| 4 | 電源COM | 9 | NC |
| 5 | 電源－15VDC |
この商品について…
