トップページ > 製品情報 > マスフローコントローラー/メーター > スタンダード マスフローコントローラMODEL 3660 SERIES
マスフローコントローラー/メーター
- スタンダード マスフローコントローラ
MODEL 3660 SERIES - ＭＯＤＥＬ３６６０シリーズは、コンパクト＆ローコストをメインテーマとしたマスフローコントローラです。大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用機種として、数多くの実績を持ち、多彩な派生機種、オプションを用意しております。
特長
●改良型定電流温度差検出方式の流量センサーを搭載し、高速応答を実現。
●安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用。
●ソレノイドアクチュエーターで高信頼性を確保。
●燃焼ガス制御用の低差圧仕様(LPオプション）。
●安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用。
●ソレノイドアクチュエーターで高信頼性を確保。
●燃焼ガス制御用の低差圧仕様(LPオプション）。
標準仕様
| 流量レンジ（N2換算） | 10SCCM～20SLM/3660 30～100SLM/3665 |
|---|---|
| バルブ方式※ | ノーマリークローズ、ソレノイド、ポペットバルブ |
| 制御範囲 | 2～100%F.S./3660 5～100%F.S./3665 |
| 応答性 | 0－100%応答 2sec.以下 with in±2%、typical |
| 精度 | ±1.5%F.S.以内/3660 ±2.0%F.S.以内/3665 |
| 繰り返し性※ | ±0.5%F.S.以内 |
| 動作差圧 | F.S.≦5SLM 49～294kPa ※LP（低差圧）仕様はガス、流量により差があります |
| 5＜F.S.≦20SLM 98～294kPa/3660 30＜F.S.≦100SLM 147～294kPa/3665 | |
| 耐圧※ | 980kPa |
| リークレート※ | 1×10-8Pa・m3/s以下（Heの透過は含まない） |
| 使用温度 | 5～45℃（精度保証：15～35℃） |
| 接ガス部材質 | ボディ：SUS316 |
| バルブシート：バイトン® オプション：ネオプレン® NBR | |
| シール材：バイトン® オプション：ネオプレン® NBR | |
| 継手※ | 標準：1/4SWL/3660 3/8SWL/3665 |
| オプション：1/8SWL、1/4VCR®、Rc1/4、その他 | |
| 電気接続※ | Dsub9ピンオス KFC standard SEMI standard準拠 |
| 流量設定入力信号 | 0～5VDC |
| 所要電源※ | ＋15VDC（±5%）100mA－15VDC（＋5%）200mA |
※印は各仕様において共通の項目です
配線取合
Dsub9ピン KFC standardピン配列
| ピン№ | 信号名称 | ピン№ | 信号名称 |
|---|---|---|---|
| 1 | バルブ開閉入力 | 6 | 流量設定入力：Hi |
| 2 | 流量出力0～5V | 7 | 流量出力COM |
| 3 | 電源＋15V | 8 | 流量設定入力：Lo |
| 4 | 電源COM | 9 | バルブ電圧出力 |
| 5 | 電源－15VDC |
※製品の入力方式は差動入力です。したがって№４電源ＣＯＭと№７流量出力ＣＯＭは、マスフロー内部で接続されていますが、№８流量設定入力：Ｌｏはアイソレートされています。もしシングルエンドで本製品をご使用になる際は、結線例で№８は№４と繋いでご使用になって下さい。
この商品について…
