トップページ > 製品情報 > マスフローコントローラー/メーター > ハイグレードマスフローコントローラMODEL 3200 SERIES
マスフローコントローラー/メーター
- ハイグレードマスフローコントローラ
MODEL 3200 SERIES - ＭＯＤＥＬ３２００シリーズは、半導体、液晶、燃焼、分析、バイオ等幅広い分野で実績を誇る３９１０シリーズの後継機として設計された新型マスフローコントローラです。新しいコフロック・スタンダードにふさわしいハイパフォーマンスモデルです。
特長
●温度追従型電流差検出方式の流量センサー（特許出願中）を搭載し高精度、高速応答を実現
●安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用
●ＣＦ切り替え機能によるマルチガス対応
●ダイヤフラムシートバルブの採用によりデットボリュームを低減
●F.S.１ＳＣＣＭの微少流量対応（ＳＲオプション）
●燃焼ガス制御用の低差圧対応（ＬＰオプション）
●安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用
●ＣＦ切り替え機能によるマルチガス対応
●ダイヤフラムシートバルブの採用によりデットボリュームを低減
●F.S.１ＳＣＣＭの微少流量対応（ＳＲオプション）
●燃焼ガス制御用の低差圧対応（ＬＰオプション）
標準仕様
| 流量レンジ（N2換算） | 10SCCM～20SLM |
|---|---|
| バルブ方式 | ノーマリークローズ、ソレノイド、ダイヤフラムシートバルブ |
| 制御範囲 | 2～100%F.S. |
| 応答性 | 0－100%応答 1sec.以下（within±2%、typical） |
| 精度 | ±1.0F.S.以内 |
| 直線性 | ±0.5%F.S.以内 |
| 繰り返し性 | ±0.2%F.S.以内 |
| 動作差圧 | F.S.≦5SLM 49～294kPa ※LP（低差圧）仕様はガス、流量により差があります |
| 5＜F.S.≦20SLM 98～294kPa | |
| 耐圧 | 980kPa |
| リークレート | 1×10－8Pa・m3/s以下 （Heの透過は含まない） |
| 使用温度 | 0～50℃（精度保証：15～35℃） |
| 接ガス部材質 | ボディ：SUS316L |
| ダイヤフラム：SUS316 | |
| バルブシート：PTFE | |
| シール材：バイトン®（オプション：ネオプレン®）（NBR） | |
| 継手 | 標準：1/4SWL オプション：1/8SWL、1/4VCR®、Rc1/4 |
| 電気接続 | Dsub9ピンオス KFC standard（SEMI standard準拠） |
| 流量設定入力信号 | 0～5VDC |
| 流量出力信号 | 0～5VDC |
| 所要電源 | +15VDC（±5%）100mA、-15VDC（±5%）200mA |
配線取合
Ｄｓｕｂ９ピン ＫＦＣ ｓｔａｎｄａｒｄピン配列
| ピン№ | 信号名称 | ピン№ | 信号名称 |
|---|---|---|---|
| 1 | バルブ開閉入力 | 6 | 流量設定入力：Hi |
| 2 | 流量出力0～5V | 7 | 流量出力COM |
| 3 | 電源＋15VDC | 8 | 流量設定入力：Lo |
| 4 | 電源COM | 9 | NC |
| 5 | 電源－15VDC |
※製品の入力方式は差動入力です。したがって№４電源ＣＯＭと№７流量出力ＣＯＭは、マスフロー内部で接続されていますが、№８流量設定入力：Ｌｏはアイソレートされています。もしシングルエンドで本製品をご使用になる際は、結線例で№８は№４と繋いでご使用になって下さい。
この商品について…
