トップページ > 製品情報 > マスフローコントローラー/メーター > ハイグレード マスフローメータMODEL 3100 SERIES
マスフローコントローラー/メーター
- ハイグレード マスフローメータ
MODEL 3100 SERIES - ＭＯＤＥＬ３１００シリーズは、ＭＯＤＥＬ３２００シリーズをベースにして開発された高精度流量測定用新型マスフローメータです。圧力損失の少ない新方式の細管流量センサーの採用で、高速応答と長期安定性を確保したハイグレードモデルです。
特長
●温度追従型電流差検出方式の流量センサーを搭載し高精度、高速応答を実現。
●ＣＦ切り替え機能によるマルチガス対応。
●Ｆ．Ｓ．１ＳＣＣＭの微少流量対応(ＳＲオプション）
●ＣＦ切り替え機能によるマルチガス対応。
●Ｆ．Ｓ．１ＳＣＣＭの微少流量対応(ＳＲオプション）
標準仕様
| 流量レンジ（N2換算） | 10SCCM～20SLM/3100 30SLM～100SLM/3105 |
|---|---|
| 応答性 | 0－100%応答 1sec.以下（within±2%、typical） |
| 精度 | ±1.0%F.S.以内/3100 ±1.5%F.S.以内/3105 |
| 直線性 | ±0.5%F.S.以内 |
| 繰り返し性 | ±0.2%F.S.以内 |
| 耐圧 | 980kPa |
| リークレート | 1×10-8Pa・m3/s以下（Heの透過は含まない） |
| 使用温度 | 0～50℃（精度保証：15～35℃） |
| 接ガス部材質 | ボディ：SUS316L、SUS316、PTFE シール材：バイトン®（オプション：ネオプレン®） |
| 継手 | 標準：1/4SWL/3100 3/8SWL/3105 |
| オプション：1/8SWL、1/4VCR®、Rc1/4 | |
| 電気接続※ | Dsub9ピンオス KFC standard（SEMI standard準拠） |
| 流量出力信号※ | 0～5VDC |
| 所要電源※ | +15VDC（±5%）100mA、-15VDC（±5%）100mA |
配線取合
Ｄｓｕｂ９ピン ＫＦＣ ｓｔａｎｄａｒｄピン配列
| ピン№ | 信号名称 | ピン№ | 信号名称 |
|---|---|---|---|
| 1 | NC | 6 | NC |
| 2 | 流量出力0～5V | 7 | 流量出力COM |
| 3 | 電源＋15VDC | 8 | NC |
| 4 | 電源COM | 9 | NC |
| 5 | 電源－15VDC |
この商品について…
