首页 > 产品信息 > 质量流量计/控制器 > 低成本金属密封型质量流量控制器/质量流量计 型号5400系列
质量流量计/控制器
- 低成本金属密封型质量流量控制器/质量流量计
型号5400系列 - 型号5400系列质量流量控制器/计无焊接结构，金属密封，精
确度≤±1%，反应时间≤±1/秒，基本性能适用于半导体过
程控制，实现了划时代的低成本。型号5410系列同样主体的
设计价格也十分合理。 
特点
□ 通过安装温度流量传感器得到高精确的快速回应
□ 常闭电磁阀
□ 无焊接构造，金属密封确保低的泄露
□ 采用膈膜阀减少了死区
□ 间距，主体尺寸和连接的设计可以和其它生产商的控
制器兼容
□ 常闭电磁阀
□ 无焊接构造，金属密封确保低的泄露
□ 采用膈膜阀减少了死区
□ 间距，主体尺寸和连接的设计可以和其它生产商的控
制器兼容
技术指标
标准指标
| 流量F.S. (N2换算) | 10SCCM-20SLM |
| 阀门方式* | 常闭电磁隔膜阀 |
| 控制范围* | 2-100%F.S. |
| 应答性* | 0-100%F.S.1秒以下（设置点±2%、典型以下） |
| QS附件适用时0-100%∽0-20%反应1秒以下 | |
| 精度 | ±1.0%F.S.以内@20°C |
| 线性 | ±0.5%F.S.以内@20°C |
| 重复性 | ±0.2%F.S.以内@20°C |
| 工作差压* | F.S.≤5SLM 49kPa-294kPa LP(低差压)标准根据气体、流量而不同 |
| 5<F.S.≤20SLM 98kPa-294kPa | |
| 耐压 | 980kPa |
| 泄漏范围 | 1×10-11Pa•m3/s 以内 |
| 使用温度 | 0°C-50°C（精度保证：15-35°C） |
| 接触介质的材料 | 外壳：SUS316L |
| 隔膜：Ni-Co | |
| 阀座：PTFE | |
| 密封材料：Ni，SUS316L | |
| 接头 | 1/4UJR |
| 电气连接 | Dusb 9-pin KFC标准（SEMI标准） |
| 输入流量信号 | 0-5VDC |
| 输出流量信号 | 0-5VDC |
| 需求电源供给 | 5400:+15VDC(±5%)100mA-15VDC(±5%)200mA |
| 5410:+15VDC(±5%)100mA-15VDC(±5%)100mA | |
| 重量 | 1000g |
技术指标
连接图 KFC标准Dsub9针连接
| Pin No. | 信号 | Pin No. | 信号 |
| 1 | 输入阀门开/关操作 | 6 | 流量输入Hi |
| 2 | 流量输出0-5V | 7 | 流量输出COM |
| 3 | 电源+15 VDC | 8 | 流量输入Lo |
| 4 | 电源COM | 9 | 输出阀门电压 |
| 5 | 电源-15VDC |
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