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质量流量计/控制器
- 标准 质量流量控制器
型号3660系列 - 型号3660系列质量流量控制器设计精密，成本较低。广泛用于不同的领域，从实验室和研究开发项目到各种分析仪器、真空装置的标准采用机种，发挥了很好的实际效果。各种衍生的型号和附属品可选。
特点
□通过采用改良型恒定电流温度差检测方式流量传感器，实现快速回应。
□通用的常闭型阀门确保了安全
□使用电磁执行器保证了高效的可靠性
□低差压类型控制适用于燃烧的气体（LP可选）
□通用的常闭型阀门确保了安全
□使用电磁执行器保证了高效的可靠性
□低差压类型控制适用于燃烧的气体（LP可选）
技术指标
| F.S.量程 (N2换算) | 10SCCM-20SLM(30SLM-100SLM) | |
|---|---|---|
| 阀门种类 | 常闭电磁阀 | |
| 控制范围 应答性 精度 重复性 | 2%-100%F.S.（5%-100%F.S.） | |
| 设定±2%F.S.至2秒以内（标准） | ||
| ±1.5%F.S.以内（±2%F.S.以内） | ||
| ±0.5%F.S.以内 | ||
| 压力 | 耐压 | 980kPa |
| 操作 差压 | F.S.≤5SLM 49kPa-294kPa； 5<F.S.≤20SLM 95kPa-294kPa | |
| 温度 | 使用温度 | 5°C-45°C |
| 连接气体 部分材料 | SUS316、氟橡胶、 氯丁橡胶（选购件） | |
| 电力连接 | Dsub9个引脚公玡 KFC/SEMI 标准 | |
| 输入流量信号 | 0-5VDC | |
| 输出流量信号 | 0-5VDC | |
| 需求电源供给 | +15VDC(±5%)100mA-15VDC(±5%)200mA | |
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