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质量流量计/控制器
- 高质量流量控制器
型号3200系列 - 型号3200系列装置是一种高档质量的流量控制器 ，已运用于
半导体、LCD、燃烧、分析和生物技术各种领域，设计为
3910系列的后继机型。是KOFLOC新的、标准的高性
能操作型号。 
特点
□ 通过安装温度流量传感器得到高精确的快速回应。
□ 采用操作安全的正常关闭的阀门。
□ 通过CF转换功能可以适用多种气体。
□ 使用一个隔膜底座阀门减少死体积。
□ F.S.1SCCM的微少流量也适用（SR option）。
□ 适用于燃烧控制气体产生低差压力（LP option）。
□ 采用操作安全的正常关闭的阀门。
□ 通过CF转换功能可以适用多种气体。
□ 使用一个隔膜底座阀门减少死体积。
□ F.S.1SCCM的微少流量也适用（SR option）。
□ 适用于燃烧控制气体产生低差压力（LP option）。
技术指标
标准指标
| 流量（N2换算） | 10SCCM - 20SLM |
| 阀门种类 | 常闭电磁隔膜阀 |
| 控制范围 | 2-100%F.S |
| 反应性 | 0-100%F.S.1秒以内（+2%以内、典型） |
| 精度 | 在+1.0%F.S.之内@20°C |
| 线性 | 在+0.5%F.S.之内@20°C |
| 重复性 | 在+0.2%F.S.之内@20°C |
| 工作差压 | F.S.≤5SLM 49-294kPa LP(低差压)标准根据气体、流量而不同 |
| 5 | |
| 耐压性 | 980kPa |
| 泄露率 | 最大为1x10-8Pa.m3 /sec（不包含He） |
| 温度范围 | 0-50°C（精度保证15-35°C） |
| 接触介质的材料 | 主体：SUS316L |
| 隔膜阀：SUS316 | |
| 阀座：PTFE | |
| 密封材料:Viton、选项（氯丁橡胶、NBR） | |
| 连接方式 | 标准：1/4F900 |
| 选项：1/8F900、1/4UJR、Rc1/4 | |
| 电气连接 | DSUB 9-pin,公螺纹KFC标准（符合SEMI标准） |
| 流量输入信号 | 0-5VDC |
| 流量输出信号 | 0-5VDC |
| 输入电源 | +15VDC（+5%）100A-15VDC（+5%）200mA |
| 连接口径 | 9/16-18UNF |
| 重量 | 1000g |
技术指标
连接图
| Pin No. | 信号 | Pin No. | 信号 |
| 1 | 输入阀门开/关操作 | 6 | 流量输入Hi |
| 2 | 流量输出0-5V | 7 | 流量输出COM |
| 3 | + 15 VDC电源 | 8 | 流量输入Lo |
| 4 | 电源COM | 9 | 输出阀门电压 |
| 5 | -15 VDC电源 |
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